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臭氧是世界公认的广谱高效杀菌消毒剂。臭氧易于分解无法储存需现场制取现场使用（但是在特殊的情况下是可以进行短暂时间的储存），采用人们生活中的空气或氧气为原料利用高频高压放电产生臭氧

利用高压电离(或化学、光化学反应)，使空气中的部分氧气分解聚合为臭氧，是氧的同素异形转变过程;亦可利用电解水法获得。臭氧的不稳定性使其很难实现瓶装贮存，一般只能利用臭氧发生器现场生产，随产随用

质量浓度：以单位体积内所含臭氧的质量数表示，常用的单位有mg/L、mg/m3、μg/m3简称质量浓度，它们的关系是：1mg/L=103 mg/m3=106μg/m3。我国各种标准均采用质量浓度

风淋室洁净室所必需的通道，它可以减少进出洁净室所带来的污染问题，减少由于人货进出带来的大量尘埃粒子由洁净室的入口处安装功能齐全的“气闸室”可以减少空气污染微粒的数量，当人货通过风淋室时，污染微粒被经过高效过滤的高度洁净空气射掉，25m/s以上的高风速确保了有效的喷射和飘移微粒经过初效和高效两级过滤器基本过滤掉

风淋室在整个洁净室系统中起到非常重要的作用。货物进出洁净室，必将会经过风淋室进行清理清洁。另一方面，风淋室还发挥气闸室密闭洁净室的一个功能。如果想取得较好的吹淋效果，那么风淋室在进行设计的时候，其喷嘴出口的风速大概至少要达到25m/s，而吹到货物表面的风速其最低要达到20m/s